Електронний каталог

          Вакуумно-плазмовий модуль для формування структур елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики [Текст] / Е. М. Руденко, І. В. Короташ, В. Ф. Семенюк, К. П. Шамрай
    // Наука та інновації. – 2010. – №3. – С. 36-38.


ББК 32.844.1

            




Теми документа






Український Фондовий Дім Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'