Електронний каталог
Пошук
Відібрані
Формуляр
Опис документа
Сайт бібліотеки
Сайт ВНЗ
Українська
English
Увійти
Шифр читача:
Пароль:
Увійти
Відмінити
ERROR
Вакуумно-плазмовий модуль для формування структур елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики
[Текст] / Е. М. Руденко, І. В. Короташ, В. Ф. Семенюк, К. П. Шамрай
// Наука та інновації. – 2010. – №3. – С. 36-38.
ББК 32.844.1
Додати до списку
Теми документа
Ключові слова/М/Мі/Мік/мікроелектроніка, микроелектроника
Ключові слова/Ф/Фі/Фіз.../фізика, физика, fizyka, physics/фізика плазми, физика плазмы
Ключові слова/І/Ім/імунітет/інн.../інноваційна діяльність
Ключові слова/І/Ін/інновації, innovations
Ключові слова/І/Ін/інноваційні процеси
Ключові слова/І/Ін/інновації, innovations/інновації в науці
Додати коментар
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'