| Ф53 |
Філімонов, С. О.
Вдосконалення п'єзокерамічних сканерів для зондових наномікроскопів [Текст] : автореф. дис. на здобуття наук. ступеня канд. техн. наук : спец. 05.13.05 - комп'ютерні системи та компоненти / Філімонов Сергій Олександрович. – Черкаси : ЧДТУ, 2009. – 20 с.
Автореферат дисертаційної роботи присвячений розробці методів і засобів покращення характеристик п'єзокерамічних сканерів для зондових наномікроскопів і створенню на цій основі конкурентоздатних зразків таких виробів.
|
