| Ш37 |
Шевченко, І. В.
Методи, моделі та інформаційні технології моніторингу і оптимізації процесу вирощування монокристалів напівпровідників [Текст] : автореф. дис. на здобуття наук. ступеня д-ра техн. наук : спец. 05.13.06 - інформаційні технології / Шевченко Ігор Васильович. – Х. : ХНУРЕ, 2015. – 39 с.
У авторефераті дисертаційної роботи сформульовано і розв'язано актуальну науково-прикладну проблему створення теоретичних та прикладних основ інформаційної підтримки процесу вирощування монокристалів напівпровідників і процесів оптимізації параметрів технологічної оснастки для забезпечення підвищення якості продукції.
|
