Електронний каталог

• Класифікатори
• Про...

протонно-променева літографія

Документи:

• Пономарев, А. Г. Установка протонно-лучевой литографии на базе электростатического кскорителя для фабрикации 3D микро- и наноструктур [Текст] / А. Г. Пономарев, В. А. Ребров, С. В. Колинько // Наука та інновації. – 2019. – № 4. – С. 62-69.